Keysight B1505A是款支援高達10kV電壓和1500A電流的功率元件參數測試儀，可用於測試各種功率元件如:SuperJunction, MOSFET, IGBT，以及第三代半導體材料:GaN(氮化鎵),SiC(碳化矽)等寬能隙材料，應用的市場領域包括車用電子、消費性電子、伺服器、再生能源、電池儲能、5G通訊等。另外，B1505A可應用於Package level以及Wafer level的參數測試，並且不論是手動、半自動以及全自動的Prober都可以搭配進行量測。硬體方面，B1505A的模組化架構，可依據客戶需求做出彈性的功能配置以及保留未來可升級或調整的空間。
B1505A除了IV、CV、脈衝等多種量測功能外，它可在高偏壓（3kV）時執行如 Ciss、Coss 和 Crss的電容測量。另外B1505A也提供功率元件的閘極電荷(Qg)以及閘極電阻(Rg)等特性量測，亦支援在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 溫度範圍內進行加熱特性分析。
1
Voltage up to 10kV
Current up to 1500A
Pulse width 10μs
2
1 kHz to 5 MHz
Up to 3kV Bias
QS-CV
3
Manual Prober
Semi-auto Prober
Auto Prober
4
Package
| Measurement Resource | Slots Occupied | DC (V/I) | Meas. Resolution (V/I) | Pulse (V/I) | Pulse Width |
|---|---|---|---|---|---|
| High Voltage SMU (HVSMU) | 2 | 3000V / 4mA 1500V / 8mA | +/- 0.5uV / 0.1fA | +/- 100V / 0.1A | 500us to 2s |
| High Current SMU (HCSMU) | 2 | 40V / 1A | +/- 0.5uV / 0.1fA | +/- 100V / 0.1A | 500us to 2s |
| Medium Current SMU (MCSMU) | 1 | 30V / 0.1A | +/- 2uV / 10fA | +/- 200V / 1A | 500us to 2s |
| Medium Power SMU (MPSMU) | 1 | 100V / 0.1A | +/- 200nV / 10pA | +/- 30V / 1A | 10us to 0.1s (>0.1A) 10us to 2.0s (<0.1A) |
| Measurement Resource | Slots Occupied | DC Bias | AC Signal | Frequency |
|---|---|---|---|---|
| Multi-Frequency CMU (MFCMU) | 1 | 25V | 10mV to 250mV | 1kHz to 5MHz |
| Expander | UHC (N1265A) | HVMC (N1266A) | UHV (N1268A) |
|---|---|---|---|
| Max. Voltage | +/- 60V | +/- 2200V | +/- 10kV |
| Max. Current | +/- 500A +/- 1500A (optional) | +/- 2.5A | +/- 10mA (DC) +/- 20mA (Pulse) |
| V meas. resolution | 100uV | 3mV | 10mV |
| I meas. resolution | 1mA (500A), 4mA (1500A) | 200nA | 10pA |
| Pulse width | 10us ~ 1ms (500A) 10us ~ 500us (1500A) | 10us ~ 100us (1500V/2.5A)
10us ~ 100us (2200V/1.1A) 10us ~ 1ms (2200V/110mA) | 100us ~ 1ms (>10mA)
100us ~ 2s (<10mA) |
Phone : +886-3-5718588
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