B1500A

B1500A是款多功能合一的半導體元件電性參數測試儀，包括IV、CV、脈衝等多種量測功能。

B1500A可應用於Package level以及Wafer level的參數測試，並且不論是手動、半自動以及全自動的Prober都可以搭配進行量測，可滿足如面板、半導體、記憶體、功率元件、離散元件等產業之實驗室與生產線的參數測試需求。

除此之外，B1500A的模組化架構，可依據客戶需求做出彈性的功能配置以及保留未來可升級或調整的空間。

15吋觸控螢幕支援直覺的EasyEXPERT group+圖形化介面(GUI)

可配置和可升級的量測模組，多達１０插槽

嵌入式Windows７標準版作業系統(WES7)

配備GPIB、USB、LAN介面和VGA輸出埠one platform or service provider

IV量測 : 電壓範圍:0.5uV－200V 電流範圍:0.1fA－1A
CV量測 : 頻率範圍:1kHz－5MHz 準靜量測:(QS-CV)
DC脈衝 : 電壓±40V 最小脈衝寬度:10ns

B1500A各量測資源主要規格如下，另有其他配件可依客戶規格需求做配置

Measurement Resource	Slots Occupied	DC (V/I)	Meas. Resolution (V/I)	Pulse (V/I)	Pulse Width
Medium Power SMU (MPSMU)	1	+/- 100V / 0.1A	+/- 0.5uV / 0.1fA	+/- 100V / 0.1A	500us to 2s
High Resolution SMU (HRSMU)	1	+/- 100V / 0.1A	+/- 0.5uV / 0.1fA	+/- 100V / 0.1A	500us to 2s
High Power SMU (HPSMU)	2	+/- 200V / 1A	+/- 2uV / 10fA	+/- 200V / 1A	500us to 2s
Medium Current SMU (MCSMU)	2	+/- 30V / 1A	+/- 200nV / 10pA	+/- 30V / 1A	10us to 0.1s (>0.1A) 10us to 2.0s (<0.1A)
Measurement Resource	Slots Occupied	Pulse V	Pulse period	Pulse width	Transition time
High Voltage Semiconductor (HV-SPGU) Pulse Generator Unit	1	+/- 40V	20ns to 10s	10ns to (period ~ 10ns)	8ns to 400ms

Measurement Resource	Slots Occupied	Voltage Ranges	Min. Timing Resolution	Voltage Ranges	Current Ranges
Waveform Generator Fast Measurement Unit (WGFMU)	1	-10 to 0V 0 to 10V	10ns	10V	10mA

Measurement Resource	Slots Occupied	DC Bias	AC Signal	Frequency
Multi Frequency Capacitance Measurement Unit (MFCMU)	1	+/- 25V	10mV to 250mV	1kHz to 5MHz

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